Например, Бобцов

Исследование люминесцентных свойств структур Si/SiO2 с имплантированным кремнием в окисле

Сборник тезисов
Конференция:IV Всероссийский конгресс молодых ученых
Раздел:Информационные и интеллектуальные системы и технологии
Рубрика:Информационная безопасность, проектирование, технология элементов и узлов компьютерных систем
Год:2015

Исследование люминесцентных свойств структур Si/SiO2 с имплантированным кремнием в окисле

УДК:539.534.9:535.376

Аннотация

Исследовано влияние ионной имплантации кремния и последующего отжига на катодолюминесценцию пленки двуокиси кремния толщиной 65 нм. Изучены спектры люминесценции, определены их источники, а также их состояние после отжига.

Материалы конференций