Educational publication
Лазерные микро- и нанотехнологии в микроэлектронике: Опорный конспект лекций.
НИУ ИТМО, 2011 год
Страниц141 c.
Тираж100 экз.
Download PDF13987 Kbyte
Лазерные микро- и нанотехнологии в микроэлектронике: Опорный конспект лекций.
Annotation
Для бакалавров и магистров направлений 200500 «Лазерная техника и лазерные технологии, 200200 «Оптотехника», 223200 «Техническая физика», 200700 «Фотоника и оптоинформатика», 200100 «Приборостроение», а также для студентов специальностей 200201 «Лазерная техника и лазерные технологии», 210401 «Физика и техника оптической связи». Курс также может быть полезен инженерам, ученым, менеджерам, которые интересуются применением лазерных технологий в микроэлектронике, для понимания преимуществ и ограничений использования лазеров в этой области, для расширения и углубления их знаний в области процессов лазерной обработки.
Description
Рекомендовано УМО по оптическому образованию в качестве учебного пособия для обучения студентов по специальности 200201 "Лазерная техника и лазерные технологии".