Например, Бобцов

Использование муарового эффекта для создания высокоточных дифракционных систем контроля геометрических параметров объектов

Аннотация:

Предложен метод дифракционного контроля, основанный на освещении контроли- руемого объекта парой распространяющихся под углом друг к другу волновых фронтов. Установлено, что такое освещение приводит к формированию муаровой картины, вид которой связан с геометрическими параметрами контролируемого объекта. Рассмотрена возможность применения этого метода для контроля толщин объектов.

Ключевые слова:

Статьи в номере