Например, Бобцов

СИНТЕЗ ПЛЕНКООБРАЗУЮЩИХ МАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ НИТРИДА АЛЮМИНИЯ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ИЗ НИХ ОПТИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ

Аннотация:

В работе рассмотрены вопросы синтеза и прессования нитрида алюминия для получения плен­кообразующих материалов, используемых для формирования оптических покрытий. На основе полученных пленкообразующих материалов разработан технологический процесс изготовления покрытий из нитрида алюминия на основе двух вакуумных методов напыления тонких пленок: вакуумного испарения и магнетронного распыления. Рассмотрены вопросы использования пле­нок нитрида алюминия в оптическом приборостроении.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере