Например, Бобцов

МАТЕМАТИЧЕСКАЯ И ПРОГРАММНАЯ ОБРАБОТКА ДАННЫХ СПЕКТРОФОТОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ

Аннотация:

Одной из основных задач при осаждении пленок является контроль толщины осаждаемого покрытия. В статье описаны существующие методы и предлагается новый метод контроля.

Ключевые слова:

Статьи в номере