Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:535.8
Номер:13 (58)
Скачать PDF0 Кбайт
Одной из основных задач при осаждении пленок является контроль толщины осаждаемого покрытия. В статье описаны существующие методы и предлагается новый метод контроля.