Например, Бобцов

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЕ ФОРМИРОВАНИЕ LCVD-МЕТОДОМ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ МИКРОСТРУКТУР НА ОБРАТНОЙ СТОРОНЕ ОБЛУЧАЕМОЙ ПОДЛОЖКИ

Аннотация:

Представлены результаты экспериментальной проверки теоретической модели, характеризующей процессы одностадийного лазерного интерференционного химического осаждения из парогазовой фазы тонкопленочных периодических микро- и наноструктур на подложке без использования фотолитографических масок. Использованное экспериментальное оборудование содержит лазер YAG:Nd3+; вакуумную камеру для осаждения структур в парах летучего карбонила металла, имеющую прозрачное окно для ввода в камеру лазерного излучения; оптико-механическое устройство для формирования методом деления фронта двух когерентных пучков и создания картины двухлучевой интерференции на поверхности стеклянной прозрачной подложки, расположенной в камере. В качестве типичного металлоорганического соединения использован декакарбонил дирения. В соответствии с исследуемой моделью критическим моментом является протекание пиролитического процесса преимущественно в монослое молекул карбонила, адсорбированных на поверхности прозрачной, т.е. непогло-щающей излучение подложки. Получено лучшее, по сравнению с проекционной фотолитографией и прямым лазерным рисованием, разрешение периодического топологического рисунка в результате применения двухлучевой интерференции.  

Ключевые слова:

Постоянный URL

Статьи в номере

Содержание © 1993–2025 Университет ИТМО
Разработка © 2015 Университет ИТМО