ПОЛУЧЕНИЕ ТОЛСТЫХ СЛОЕВ НИТРИДА ГАЛЛИЯ МЕТОДОМ МНОГОСТАДИЙНОГО РОСТА НА ПОДЛОЖКАХ С КОЛОННОЙ СТРУКТУРОЙ
Аннотация:
Предмет исследования. Рассмотрены процессы образования и поведения дефектов при многостадийном выращивании толстых эпитаксиальных слоев нитрида галлия методом хлорид-гидридной эпитаксии на подложках GaN/Al2O3с зарощенной колонной структурой, сформированных с помощью газофазной эпитаксии из металлорганических соединений. Методы. Рост первичных слоев GaN осуществлялся методом газофазной эпитаксии из металлорганических соединений. На поверхности этих слоев методом реактивного ионного травления создавались колонны высотой 800 нм. Далее колонны заращивались слоем нитрида галлия толщиной 3–4 мкм. На сформированной таким образом подложке проводилось многостадийное выращивание слоев GaNметодом хлорид-гидридной эпитаксии с общей толщиной 100–1500 мкм. Характеризация полученных слоев проводилась с применением методов оптической и электронной микроскопии, а также спектроскопии комбинационного рассеяния света.Основные результаты. Плотность дислокаций в слоях, выращенных хлорид-гидридной эпитаксией, составила (3–6)·107 см–2, что было на порядок ниже, чем в использованной подложке, и на два–три порядка ниже, чем плотность дислокаций в типичных эпитаксиальных слоях GaNна обычных сапфировых подложках. Данные спектроскопии комбинационного рассеяния света показали низкий уровень напряжений в выращенных слоях и их высокую структурную однородность. По итогам исследования установлено, что в условиях многостадийного роста не катастрофические (не приводящие к разрушению образца) трещины способны к трансформации в макропоры и оказываются важным структурным элементом, способствующим протеканию релаксации напряжений в объеме толстых слоев нитрида галлия, выращиваемых на инородной подложке.Практическая значимость. Результаты исследования могут быть использованы при разработке гетероструктур на основе нитридов элементов III группы для приборов оптоэлектроники и высокочастотной и силовой микроэлектроники.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- СУПЕРКОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ КРИТИЧЕСКИХ ЯВЛЕНИЙ В СЛОЖНЫХ СОЦИАЛЬНЫХ СИСТЕМАХ
- КОМПРЕССИЯ ПРЕДЕЛЬНО-КОРОТКИХ ИМПУЛЬСОВ СВЕТА И ГЕНЕРАЦИЯ ОДНОПОЛЯРНЫХ ИМПУЛЬСОВ ЗА СЧЕТ КОГЕРЕНТНОГО ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ С РЕЗОНАНСНОЙ НЕЛИНЕЙНОЙ СРЕДОЙ
- ЛИДАРНЫЙ УЗЕЛ КОМБИНИРОВАННОГО СКАНИРОВАНИЯ
- СТРУЙНАЯ ПЕЧАТЬ ВЫСОКОРЕФРАКТИВНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ ЗОЛЯ TiO2
- ВЛИЯНИЕ ВОДОРОДНОЙ ОБРАБОТКИ ОПТИЧЕСКОГО ВОЛОКНА НА ЭФФЕКТИВНОСТЬ ЗАПИСИ В НЕМ ЧИРПИРОВАННЫХ РЕШЕТОК БРЭГГА ИЗЛУЧЕНИЕМ KrF ЭКСИМЕРНОГО ЛАЗЕРА
- АЛГОРИТМ КОМПЕНСАЦИИ МУЛЬТИГАРМОНИЧЕСКИХ ВОЗМУЩЕНИЙ В ЛИНЕЙНЫХ СИСТЕМАХ С ПРОИЗВОЛЬНЫМ ЗАПАЗДЫВАНИЕМ: МЕТОД ВНУТРЕННЕЙ МОДЕЛИ
- ЛЮМИНЕСЦЕНТНЫЕ СВОЙСТВА КЛАСТЕРОВ СЕРЕБРА, СФОРМИРОВАННЫХ МЕТОДОМ ИОННОГО ОБМЕНА В ФОТО-ТЕРМО-РЕФРАКТИВНОМ СТЕКЛЕ
- РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ДИСЛОКАЦИЙ В КРИСТАЛЛАХ AlN ПРИ ВЫРАЩИВАНИИ НА ИСПАРЯЕМЫХ ПОДЛОЖКАХ SiC
- ОСОБЕННОСТИ ПРОВЕДЕНИЯ ИЗМЕРЕНИЙ В ЖИДКИХ СРЕДАХ МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ
- ИСПОЛЬЗОВАНИЕ В СИСТЕМАХ АВТОМАТИЧЕСКОГО РАСПОЗНАВАНИЯ РЕЧИ GMM-МОДЕЛЕЙ ДЛЯ АДАПТАЦИИ АКУСТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ, ПОСТРОЕННЫХ НА ОСНОВЕ ИСКУССТВЕННЫХ НЕЙРОННЫХ СЕТЕЙ
- НЕЧЕТКОЕ ОТОБРАЖЕНИЕ В СИСТЕМЕ СОНИФИКАЦИИ ДАННЫХ БЕСПРОВОДНОЙ СЕНСОРНОЙ СЕТИ
- АРХИТЕКТУРА ИНТЕГРИРОВАННОЙ ИНФОРМАЦИОННОЙ СИСТЕМЫ, ОБЕСПЕЧИВАЮЩАЯ СВОЙСТВО ПОВЕДЕНИЯ
- АВТОМАТИЗАЦИЯ ПОДБОРА ОПТИМАЛЬНОЙ ДИСЦИПЛИНЫ ОБСЛУЖИВАНИЯ ПРИ ПЕРЕДАЧЕ VОIP-ТРАФИКА
- ДИНАМИЧЕСКАЯ АВТОРИЗАЦИЯ НА ОСНОВЕ ИСТОРИИ НОВОСТНЫХ СООБЩЕНИЙ
- СТАТИСТИЧЕСКИЙ МЕТОД ИЗВЛЕЧЕНИЯ ТЕРМИНОВ ИЗ КИТАЙСКИХ ТЕКСТОВ БЕЗ СЕГМЕНТАЦИИ ФРАЗ
- ОПРЕДЕЛЕНИЕ МИКРОГЕОМЕТРИИ ФУНКЦИОНАЛЬНОЙ ПОВЕРХНОСТИ ДЕТАЛИ, ОБЕСПЕЧИВАЮЩЕЙ ТРЕБУЕМЫЕ ПОКАЗАТЕЛИ АВИАЦИОННОГО ДАТЧИКА ВИБРАЦИИ
- МОДЕЛЬ ПРОГНОЗИРОВАНИЯ РАСХОДОВ ДЛЯ ПЛАНИРОВАНИЯ ПРОЕКТНОЙ ДЕЯТЕЛЬНОСТИ ВУЗА
- ИМИТАЦИОННАЯ МОДЕЛЬ ВИРТУАЛЬНОГО КАНАЛА
- МЕТОДИКА ОЦЕНКИ УРОВНЯ КАЧЕСТВА МЕХАНИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ В ПРОЦЕССЕ ИХ ПРОЕКТИРОВАНИЯ
- АНТИФУНГАЛЬНАЯ АКТИВНОСТЬ ZnO, SiO2, Au И Ag АКРИЛОВЫХ НАНОКОМПОЗИТОВ
- РЕЗЕРВИРОВАНИЕ ПЕРЕДАЧ ЧЕРЕЗ АГРЕГИРОВАННЫЕ КАНАЛЫ, РАЗДЕЛЯЕМЫЕ НА ГРУППЫ
- ВЛИЯНИЕ ТОПОЛОГИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ НА ДИНАМИКУ ТЕМПОРАЛЬНОЙ СЕТИ
- ПРЕДСКАЗАНИЕ ПИКОВ ЭПИДЕМИЙ ГРИППА В САНКТ-ПЕТЕРБУРГЕ С ПОМОЩЬЮ ПОПУЛЯЦИОННЫХ МАТЕМАТИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ