Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:621.7.077, 681.513.3
Номер:12 (59)
Скачать PDF789 Кбайт
Проанализированы варианты многокоординатных платформ приборов для микропозиционирования объектов. Предложен двухкоординатный предметный столик микроскопа с параллельной кинематикой и пьезоэлектрическим приводом на базе биморфных пьезоактюаторов. Приведены результаты экспериментальных исследований действующего макета столика и сделаны выводы по их использованию.