Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:4 (49)
Скачать PDF0 Кбайт
ОСОБЕННОСТИ КОНТРОЛЯ ОБЪЕКТИВА ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОСТРУКТУР
Аннотация:
Для обеспечения прогресса развития микроэлектроники и достижения минимального размера элемента микросхемы на уровне 10 нм необходимо разрабатывать средства контроля повышенной точности. Показано, что основной задачей, решение которой необходимо для обеспечения производства элементов проекционных объективов, является создание средств контроля, обеспечивающих корреляцию между контрольной и рабочей длиной волны в глубоком вакуумно-ультрафиолетовым диапазоне. Описан интерферометр для исследования волновых аберраций с дифракционной волной сравнения.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- ФАЗО-КОМПЕНСИРУЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ
- СИНТЕЗ И ИССЛЕДОВАНИЕ СТАБИЛЬНОСТИ СПЕКТРОДЕЛИТЕЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ ДЛЯ СРЕДНЕГО ИК-ДИАПАЗОНА СПЕКТРА
- ТЕЛЕВИЗИОННЫЙ МЕТОД ОЦЕНКИ КАЧЕСТВА МИКРООПТИКИ
- МАТЕМАТИЧЕСКАЯ И ПРОГРАММНАЯ ОБРАБОТКА ДАННЫХ СПЕКТРОФОТОМЕТРИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ
- ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК ПОЛИРОВАЛЬНЫХ СМОЛ НА ПРОЦЕСС ОБРАБОТКИ ХАЛЬКОГЕНИДОВ ЦИНКА
- РАСЧЕТ ОПТИМАЛЬНОГО УГЛА РАЗВЕДЕНИЯ ОБЫКНОВЕННОГО И НЕОБЫКНОВЕННОГО ЛУЧЕЙ В ДВУЛУЧЕПРЕЛОМЛЯЮЩИХ ЭЛЕМЕНТАХ
- ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ ДЛЯ ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИХ ГИРОСКОПОВ
- ПЛЕНКА ZNO ДЛЯ БОЛЬШЕЭКРАННЫХ ДИСПЛЕЕВ
- АБЕРРАЦИИ ТРЕТЬЕГО ПОРЯДКА АСФЕРИЧЕСКИХ ОТРАЖАЮЩИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ВТОРОГО ПОРЯДКА
- ВЛИЯНИЕ ДИСКРЕТНОЙ СТРУКТУРЫ ФОТОПРИЕМНИКА НА ПОГРЕШНОСТЬ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОГО ИЗМЕРЕНИЯ
- АНАЛИЗ ВОЗМОЖНОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ АКУСТООПТИЧЕСКИХ ФИЛЬТРОВ В ЗАДАЧЕ РЕКОНСТРУКЦИИ ТРЕХМЕРНОЙ СТРУКТУРЫ МИКРООБЪЕКТОВ В ПРОИЗВОЛЬНЫХ СПЕКТРАЛЬНЫХ ИНТЕРВАЛАХ
- УЧЕТ ДИФРАКЦИИ ПРИ ИССЛЕДОВАНИИ КАЧЕСТВА ИЗОБРАЖЕНИЯ НА ОСНОВЕ ФУНКЦИИ РАССЕЯНИЯ ТОЧКИ
- ИЗУЧЕНИЕ МАГНИТООПТИЧЕСКОГО ЭФФЕКТА ФАРАДЕЯ
- ФТОРИД КАЛЬЦИЯ ДЛЯ ФОТОЛИТОГРАФИИ
- ПОЛЯРИЗАЦИОННО-ОПТИЧЕСКИЙ МИКРОСКОП С НОВЫМИ ФУНКЦИОНАЛЬНЫМИ ВОЗМОЖНОСТЯМИ
- РАЗРАБОТКА БЕССВИНЦОВОГО РАДИАЦИОННО-СТОЙКОГО ТЯЖЕЛОГО ФОСФАТНОГО ФЛИНТА
- ДИСПЕРСИЯ ОПТИЧЕСКОЙ АНИЗОТРОПИИ ДВУХЧАСТОТНОГО ЖИДКОГО КРИСТАЛЛА В БЛИЖНЕЙ ИК-ОБЛАСТИ СПЕКТРА
- РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ТОЧНОСТНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ СООСНОСТИ НА СТЕНДЕ
- ОСНОВНЫЕ НАПРАВЛЕНИЯ СОВЕРШЕНСТВОВАНИЯ ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ ДЛЯ КОНТРОЛЯ СМЕЩЕНИЙ КРУПНОГАБАРИТНЫХ ОБЪЕКТОВ
- ПОЗИЦИОННО-ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ФОТОПРИЕМНИК «МУЛЬТИСКАН» В ИЗМЕРИТЕЛЕ УГЛОВОЙ СКОРОСТИ ВРАЩЕНИЯ
- ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЯ ГЕНЕРАЦИИ ТГЦ ИЗЛУЧЕНИЯ С ПОМОЩЬЮ КРИСТАЛЛОВ DAST И ЛАЗЕРНОЙ ИСКРЫ
- ИССЛЕДОВАНИЕ АВТОКОЛЛИМАЦИОННОЙ СИСТЕМЫ ИЗМЕРЕНИЯ УГЛОВОГО ПОЛОЖЕНИЯ ПЕРЕМЕЩАЕМЫХ ОБЪЕКТОВ
- ОПРЕДЕЛЕНИЕ СЕЧЕНИЯ ВЫНУЖДЕННЫХ ПЕРЕХОДОВ В МАТЕРИАЛАХ, АКТИВИРОВАННЫХ ИОНАМИ ЭРБИЯ
- ВЛИЯНИЕ ГИДРОДИНАМИЧЕСКОГО ПОТОКА НА ЭЛЕМЕНТЫ КОНСТРУКЦИИ ТЕНЕВОГО ПРИБОРА
- ИЗМЕРИТЕЛЬНОЕ УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ ДЕФОРМАЦИИ И ТЕМПЕРАТУРЫ НА ОСНОВЕ НАНОРАЗМЕРНЫХ ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ
- ИЗУЧЕНИЕ ИЗМЕНЕНИЯ СИГНАЛА ВОЛОКОННО-ОПТИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА, ВЫЗВАННОГО ИЗМЕНЕНИЕМ ТЕМПЕРАТУРЫ ОКРУЖАЮЩЕЙ СРЕДЫ И ВНЕШНИМ МАГНИТНЫМ ПОЛЕМ
- СЕЛЕКЦИЯ И ИДЕНТИФИКАЦИЯ ТИПОВ ИНСПЕКТИРУЕМЫХ ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫХ СИСТЕМ НА ОСНОВЕ ПЕЛЕНГАЦИОННОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ
- ПОВЫШЕНИЕ ТОЧНОСТНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК МЕТОДОМ ОПТИМИЗАЦИИ ПАРАМЕТРОВ АЛГОРИТМА В ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННОЙ СИСТЕМЕ КОНТРОЛЯ ПОЛОЖЕНИЯ РЕПЕРНЫХ МЕТОК
- СТЕНД ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ПОПЕРЕЧНЫХ НАВОДОК
- УСТРОЙСТВО КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА МИКРООБЪЕКТИВОВ НА ОСНОВЕ ФУНКЦИИ РАССЕЯНИЯ ТОЧКИ
- СХЕМОТЕХНИКА СПЕКТРОРЕФРАКТОМЕТРИЧЕСКОЙ ДИАГНОСТИКИ БИОЛОГИЧЕСКИХ ТКАНЕЙ
- АЛГОРИТМ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КООРДИНАТ ИЗОБРАЖЕНИЙ ТОЧЕЧНЫХ ИСТОЧНИКОВ В ДВИЖУЩЕЙСЯ СТЕРЕОСКОПИЧЕСКОЙ СИСТЕМЕ НА ПРИМЕРЕ ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ ПОЛОЖЕНИЯ РЕПЕРНЫХ МЕТОК
- К ВОПРОСУ ОБОСНОВАНИЯ МОДЕЛИ ПОТЕНЦИАЛОВ НУЛЕВОГО РАДИУСА
- ЛАЗЕРНЫЕ СВИНЦОВО-ФТОРИДНЫЕ НАНОСТЕКЛОКЕРАМИКИ, АКТИВИРОВАННЫЕ ИОНАМИ ЭРБИЯ
- ФЕМТОСЕКУНДНОЕ ЛАЗЕРНОЕ ВОЗБУЖДЕНИЕ ПОВЕРХНОСТНЫХ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫХ ВОЛН ТЕ-ТИПА
- СОРБЦИЯ ИОНОВ МЕТАЛЛОВ ПОЛИМЕРНЫМИ КОМПОЗИТАМИ
- ФОТО-ТЕРМО-РЕФРАКТИВНЫЕ СВОЙСТВА НАНОСТЕКЛОКЕРАМИК, АКТИВИРОВАННЫХ ИОНАМИ РЕДКИХ ЗЕМЕЛЬ
- НЕУСТОЙЧИВОСТЬ ФРОНТА КРИСТАЛЛИЗАЦИИ ЛАЗЕРНОГО РАСПЛАВА
- ИССЛЕДОВАНИЕ МОРФОЛОГИЧЕСКИХ ОСОБЕННОСТЕЙ ПОВЕРХНОСТИ ЭРОДИРОВАННЫХ ЛОПАТОК ПАРОВЫХ ТУРБИН
- ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ МАКРОПОРИСТЫХ КРЕМНИЕВЫХ ЭЛЕКТРОДОВ ДЛЯ ПОРТАТИВНЫХ ТОПЛИВНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ
- ИССЛЕДОВАНИЕ ОСОБЕННОСТЕЙ ПЛАСТИЧЕСКОЙ ДЕФОРМАЦИИ ПРИ ВЫСОКОСКОРОСТНОМ НАГРУЖЕНИИ
- ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ЭЛЕКТРО- И МАГНИТОПРОВОДЯЩИХ ПОКРЫТИЙ