МИНИМИЗАЦИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ В ЧУВСТВИТЕЛЬНОМ ЭЛЕМЕНТЕ МИКРОДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ ПРИ КОРПУСИРОВАНИИ
Аннотация:
Представлены результаты исследований механических напряжений, возникающих в чувствительном элементе (ЧЭ) микродатчика давления при его монтаже в корпус. Методом конечных элементов выполнено численное моделирование как остаточных механических напряжений самого кристалла ЧЭ, так и напряжений, вызванных термическим расширением-сжатием при размещении кристалла ЧЭ в системе „опорный кристалл—корпус“. Определена оптимальная конструкция опорного кристалла, в которую входят как планарные, так и объемные термокомпенсационные элементы, позволяющие минимизировать вызванные температурными колебаниями напряжения. Из представленных типов опорных кристаллов выбраны те, которые не привносят дополнительный отрицательный функционал в выходную характеристику при работе ЧЭ. Предложе-на собственная модель опорного кристалла, применимая для ЧЭ датчика как абсолютного, так и дифференциального давления.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- АНАЛИЗ АТАК ИСТОЩЕНИЯ ЭНЕРГОРЕСУРСОВ НА СИСТЕМЫ БЕСПРОВОДНЫХ УСТРОЙСТВ
- МЕТОДИЧЕСКИЙ ПОДХОД К ОЦЕНИВАНИЮ ЭФФЕКТИВНОСТИ ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ ИНФОРМАЦИОННОЙ СИСТЕМЫ С ВРЕМЕННОЙ ИЗБЫТОЧНОСТЬЮ
- СИНТЕЗ КОМПЛЕКСНЫХ ДИСКРЕТНЫХ ФИЛЬТРОВ МЕТОДОМ ИНВАРИАНТНЫХ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫХ УРАВНЕНИЙ
- ВЗВЕШЕННЫЙ КОД С СУММИРОВАНИЕМ БЕЗ ОПЕРАЦИИ ПЕРЕНОСА ДЛЯ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧ ТЕХНИЧЕСКОЙ ДИАГНОСТИКИ ДИСКРЕТНЫХ СИСТЕМ
- ШИРОКОПОЛОСНЫЕ ПРОСВЕТЛЯЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ, ПОЛУЧАЕМЫЕ МЕТОДОМ МОЛЕКУЛЯРНОГО НАСЛАИВАНИЯ
- ИЗМЕНЕНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ОПТИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ДВИЖЕНИЕМ КОСМИЧЕСКОГО АППАРАТА ПРИ ВОЗДЕЙСТВИИ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
- КОМПЕНСАЦИЯ ПОГРЕШНОСТИ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПРОСТРАНСТВЕННОГО ПОЛОЖЕНИЯ РЕПЕРНЫХ МАРОК, ВНОСИМОЙ ВОЗДУШНЫМ ТРАКТОМ
- ПРИМЕНЕНИЕ ОПТОВОЛОКОННЫХ И ТЕРМОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ В СИСТЕМАХ ОХРАННОЙ И ПОЖАРНОЙ СИГНАЛИЗАЦИИ
- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ОСОБЕННОСТИ АЗОТИРОВАНИЯ РЕЗЬБОВЫХ ПОВЕРХНОСТЕЙ ОТВЕТСТВЕННЫХ ДЕТАЛЕЙ ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОГО ПРИВОДА
- СТРУКТУРА ИМИТАЦИОННОЙ МОДЕЛИ ПЕШЕХОДНОЙ НАВИГАЦИОННОЙ СИСТЕМЫ
- МЕТОД РАСШИРЕНИЯ РАБОЧЕЙ ЗОНЫ МАНИПУЛЯТОРА РОБОТА И ПОВЫШЕНИЯ ГИБКОСТИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ЛИНИЙ
- МОДИФИЦИРОВАННЫЙ СПОСОБ ОЦЕНКИ ПАРАМЕТРОВ ПРИ СИНТЕЗЕ ЗАКОНА ФИНИТНОГО УПРАВЛЕНИЯ
- ПОВЫШЕНИЕ ДИНАМИЧЕСКОЙ ТОЧНОСТИ ЦИФРОВЫХ СЛЕДЯЩИХ СИСТЕМ АСУТП С ПОМОЩЬЮ КОМБИНИРОВАННОГО УПРАВЛЕНИЯ. Ч. I. НИЗКИЙ ТЕМП ВЫЧИСЛЕНИЯ РАССОГЛАСОВАНИЯ