Например, Бобцов

ВЫСОКОТОЧНЫЙ АБСОЛЮТНЫЙ ЛИНЕЙНЫЙ ДАТЧИК ПОЛОЖЕНИЯ НА ОСНОВЕ СТАНДАРТНОЙ ШТРИХОВОЙ МЕРЫ

Аннотация:

Представлен полный цикл исследования и разработки высокоточного абсолютного линейного датчика положения на основе стандартной штриховой меры из инвара, которая имеет интервал между штрихами 1 мм и является инкрементной шкалой. Абсолютные измерения реализованы посредством использования магнитного канала для нумерации штрихов и оптического канала для точной оценки текущего положения датчика. Разработан алгоритм обработки изображений для определения положения в реальном времени. Рассмотрена трехэтапная процедура калибровки датчика для устранения систематической погрешности измерений. По результатам измерения установлено, что разработанный датчик имеет точность 1,65 мкм (3 стандартных отклонения) при скорости перемещения до 3 м/с. Основная ценность разработки заключается в использовании стандартной штриховой меры, что обеспечивает унификацию и совместимость со стандартным метрологическим оборудованием.  

Ключевые слова:

Статьи в номере