Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:546.28.004
Номер:10 (61)
Скачать PDF637 Кбайт
ИССЛЕДОВАНИЕ ТРАВЛЕНОЙ В РАСТВОРЕ ГИДРОКСИДА КАЛИЯ ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ
Аннотация:
Проведена экспериментальная оценка влияния глубины анизотропного травления кремния на шероховатость травленой поверхности в растворе гидроксида калия. Проводилось травление пластин кремния на различную глубину (30 и 180 мкм) с последующим измерением параметров шероховатости на оптическом профилографе-профилометре PF-60. Показано, что при этом способе травления меняются такие параметры шероховатости поверхности, как Ra, Rz, Rmax. Для улучшения качества поверхности (снижения вышеуказанных параметров) применялось химическое полирование в изотропном травителе. Проведенные исследования имеют практическое значение для изготовления кремниевых структур микромеханических систем.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- ДЕЙСТВУЮЩИЕ КРУПНОГАБАРИТНЫЕ НАЗЕМНЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ТЕЛЕСКОПЫ НАБЛЮДЕНИЯ ЗА КОСМИЧЕСКИМИ ОБЪЕКТАМИ
- АСТРОНОМИЧЕСКАЯ СИСТЕМА АВТОНОМНОЙ НАВИГАЦИИ И ОРИЕНТАЦИИ ИСКУССТВЕННЫХ СПУТНИКОВ ЛУНЫ
- ОЦЕНИВАНИЕ МАКСИМАЛЬНОЙ ПОГРЕШНОСТИ СЛОЖНОЙ СИСТЕМЫ ПО АПРИОРНЫМ И ОПЫТНЫМ ДАННЫМ
- СИСТЕМА ИЗМЕРЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ДВИЖЕНИЯ ВЕРТОЛЕТА В УСЛОВИЯХ ВОЗМУЩЕНИЙ ВИХРЕВОЙ КОЛОННЫ НЕСУЩЕГО ВИНТА
- МЕТОДИКА ВИЗУАЛИЗАЦИИ МЕТРИК КИБЕРБЕЗОПАСНОСТИ
- ЗАЩИТА ОТ АТАК НА УЧЕТНУЮ ЗАПИСЬ ПРИВИЛЕГИРОВАННОГО ПОЛЬЗОВАТЕЛЯ
- АНАЛИЗ АБЕРРАЦИЙ ЛИНЗОВОГО КОЛЛИМАТОРА УСТАНОВКИ ДЛЯ ЮСТИРОВКИ АКТИВНЫХ ЛАЗЕРНЫХ ОПТИКО-ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ
- ПРЕЦИЗИОННЫЙ ЛАЗЕРНО-ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКИЙ ИЗМЕРИТЕЛЬ РАССТОЯНИЙ И ПЕРЕМЕЩЕНИЙ
- ИДЕНТИФИКАЦИЯ ЧАСТОТНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПРЕЦИЗИОННЫХ ЭЛЕКТРОПРИВОДОВ КВАНТОВО-ОПТИЧЕСКИХ КОМПЛЕКСОВ
- СПЕКТРАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ КОНТУРОВ ШАРОВИДНЫХ ОБРАЗОВАНИЙ ЛЕГКИХ
- МНОГОМАСШТАБНОЕ ПОПУЛЯЦИОННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ РАЗВИТИЯ И ЛЕЧЕНИЯ АРТЕРИАЛЬНОЙ ГИПЕРТЕНЗИИ
- ПРИМЕНЕНИЕ ФРАКТАЛЬНОГО АНАЛИЗА ПРИ ЭКСПРЕСС-ОБРАБОТКЕ СИГНАЛОВ И ИЗОБРАЖЕНИЙ