Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:53.083.64: 62
Номер:3 (62)
Скачать PDF543 Кбайт
Предложен метод повышения точности определения разницы толщин двух анизотропных пластин с использованием интерференционного фильтра Шольца. Через скрещенный фильтр Шольца пропускается немонохроматическое излучение, которое после прохождения фильтра имеет периодическое распределение интенсивности излучения по длинам волн. Для ориентировочной оценки предложено использовать расстояние между соседними минимумами излучения, а для уточнения полученных значений — исследовать параметры поляризации излучения. Этот метод позволяет определять толщину кристаллической пластинки с точностью до 0,1 мкм.