Например, Бобцов

ЗАВИСИМОСТЬ ПОКАЗАТЕЛЕЙ ПРЕЛОМЛЕНИЯ И ПОГЛОЩЕНИЯ ОТ ТОЛЩИНЫ НАНОРАЗМЕРНЫХ ЖИДКИХ ПЛЕНОК

Аннотация:

С использованием фотометрического спектроэллипсометра „Эльф“ на основе анализа спектра эллипсометрических углов  и  исследованы размерные зависимости показателя преломления и показателя поглощения наноразмерных пленок этилового спирта, нанесенных на кремниевую подложку и подложку из стекла. Установлено, что для показателя преломления в исследуемом интервале наблюдается монотонное уменьшение с ростом толщины пленки. В области 85—140 нм для подложки из стекла и 120—150 нм для кремниевой подложки зафиксирован достаточно резкий спад показателя поглощения с уменьшением толщины пленки. Предполагается, что для показателя преломления такой эффект будет наблюдаться только в диапазоне меньших толщин пленок.

Ключевые слова:

Постоянный URL

Статьи в номере

Содержание © 1993–2024 Университет ИТМО
Разработка © 2015 Университет ИТМО