Например, Бобцов

МЕТОД БАЛАНСИРОВКИ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО МАЯТНИКОВОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА

Аннотация:

Представлен метод балансировки чувствительного элемента маятникового акселерометра путем лазерного испарения металла. Рассматривается процесс юстировки балансировочного груза микромеханического акселерометра для нижнеего и верхнего положений чувствительного элемента по отношению к вертикали. Чувствительным элементом прибора служит физический маятник. При использовании микромеханического маятникового акселерометра в качестве датчика пороговая чувствительность будет определять чувствительность микромеханического акселерометра к наклону основания в поле сил земного притяжения. Выведены расчетные формулы для нижнего и верхнего положений маятника. Для практической реализации рассматриваемого метода предлагается использовать технологию лазерного испарения материала с поверхности балансировочного груза.

Ключевые слова:

Постоянный URL

Статьи в номере

Содержание © 1993–2024 Университет ИТМО
Разработка © 2015 Университет ИТМО