Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:9 (43)
Скачать PDF0 Кбайт
В работе приводится описание экспериментального стенда для исследования чувствительности наводок. Рассматривается теоретическая возможность применения цифрового измерителя линейных перемещений с ценой единицы младшего разряда до 0.2 мкм.