Например, Бобцов

СПЕКТРОСКОПИЧЕСКИЙ И ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОДЫ АТТЕСТАЦИИ ПОТЕРЬ ОПТИЧЕСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ В МАТЕРИАЛЕ И ПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ ЭЛЕМЕНТОВ ИОННЫХ И ЭКСИМЕРНЫХ ЛАЗЕРОВ

Аннотация:

  Изложены особенности появления позиционной и комбинационной неупорядоченности структуры кремнекислородной сетки в процессе синтеза кварцевого стекла и ее влияние на оптическую неоднородность по показателю преломления парофазного кварцевого стекла. На основе экспериментальных данных, полученных методами эллипсометрии, Оже–спектроскопии и спектрофотометрии, установлены корреляционные связи между физико-химическими свойствами поверхностного слоя плавленого и кристаллического кварца и потерями излучения на оптических элементах в ВУФ и УФ области спектра.

Ключевые слова:

Статьи в номере