Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:681.7.023.72
Номер:2 (63)
Скачать PDF952 Кбайт
Исследован процесс механического полирования селенида цинка с использованием в качестве полирующего материала водно-гликолевой суспензии алмазов: монокристаллического АСМ и поликристаллического RDDM. На основании полученных результатов разработана методика механического полирования ZnSe, позволяющая получать шероховатость 0,227 нм, при этом отклонение в форме поверхности не превышает одного кольца.