Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:8 (42)
Скачать PDF0 Кбайт
На базе поляризационно-оптического метода предлагается оптико-геометрический метод определения напряженно-деформированных состояний элементов микроэлектроники и микросенсорной техники. Статья подготовлена по результатам НИР “Разработка неразрушающих бесконтактных оптических методов исследования стереометрии и внутренних структурных дефектов элементной базы микроэлектроники и микросенсорной техники”