Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:8 (42)
Скачать PDF0 Кбайт
РАЗРАБОТКА АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА МИКРО- И НАНОСТРУКТУР
Аннотация:
На базе интерферометрического метода разработана автоматизированная система определения параметров шероховатости микро – и наноструктур. Статья подготовлена по результатам НИР “Разработка методов исследования качественных и количественных характеристик наносистемных структур”.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ И ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ ТОМОГРАФИИ
- РАЗРАБОТКА АЛГОРИТМИЧЕСКОГО И ПРОГРАММНОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ДЛЯ МОДЕЛИРОВАНИЯ АПЕРТУРЫ СБОМ – ЗОНДОВ НА ОСНОВЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОГО ИССЛЕДОВАНИЯ ДАЛЬНЕПОЛЬНОЙ ОСВЕЩЕННОСТИ
- ИСПОЛЬЗОВАНИЕ АВТОМАТОВ С ФЛАГАМИ ДЛЯ РЕШЕНИЯ
- ОПТИМИЗАЦИЯ ИНФОРМАЦИОННЫХ ПОДСИСТЕМ СЛЕДЯЩИХ ЭЛЕКТРОПРИВОДОВ ПРЕЦИЗИОННЫХ КОМПЛЕКСОВ СЛЕЖЕНИЯ
- ОПТИКО–ГЕОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД ИССЛЕДОВАНИЯ НАПРЯЖЕННО-ДЕФОРМИРОВАННЫХ СОСТОЯНИЙ ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И МИКРОСЕНСОРНОЙ ТЕХНИКИ
- ТЕКСТОВЫЙ ЯЗЫК АВТОМАТНОГО ПРОГРАММИРОВАНИЯ
- ВВЕДЕНИЕ В ВЕРИФИКАЦИЮ АВТОМАТНЫХ ПРОГРАММ НА ОСНОВЕ МЕТОДА MODEL CHECKING
- АЛГОРИТМ АДАПТАЦИИ С АСТАТИЗМОМ ПЕРВОГО ПОРЯДКА ДЛЯ СТАБИЛИЗАЦИИ ЛИНЕЙНОГО ВОЗМУЩЕННОГО НЕСТАЦИОНАРНОГО ОБЪЕКТА
- ФОРМИРОВАНИЕ НАНОСВИТКОВ В ВЯЗКОЙ ЖИДКОСТИ