Например, Бобцов

РАЗРАБОТКА АВТОМАТИЗИРОВАННОЙ СИСТЕМЫ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА МИКРО- И НАНОСТРУКТУР

Аннотация:

На базе интерферометрического метода разработана автоматизированная система определения параметров шероховатости микро – и наноструктур. Статья подготовлена по результатам НИР “Разработка методов исследования качественных и количественных характеристик наносистемных структур”.

Ключевые слова:

Статьи в номере