Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:681.586
Номер:3 (64)
Скачать PDF464 Кбайт
АНАЛИЗ ПРОЦЕССА НАПЫЛЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК В ВАКУУМНЫХ КАМЕРАХ МЕТОДОМ HiPIMS
Аннотация:
Обсуждается проблема создания отечественной высоконадежной элементной базы микросистемной техники, в которой широко применяются тонкие пленки при производстве микроэлектромеханических систем. Рассматривается метод HiPIMS, используемый для получения тонких пленок в вакуумных камерах при газовом разряде. Представлены разработанные стенд для анализа газового разряда и зонд, обеспечивающий получение данных для построения вольт-амперных характеристик этого разряда. В среде MatLab разработано программное обеспечение, позволяющее корректно обрабатывать полученные вольт-амперные характеристики. Установлены параметры, влияющие на режим магнетронного напыления (напряжение, частота и скважность импульса), которые позволяют управлять процессом напыления тонких пленок.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- СИСТЕМА АВТОМАТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ДВИЖЕНИЯ ПРОМЫШЛЕННЫХ ИЗДЕЛИЙ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ РАДИОЧАСТОТНЫХ ИДЕНТИФИКАЦИОННЫХ МЕТОК
- СИНТЕЗ САМОПРОВЕРЯЕМЫХ СХЕМ ВСТРОЕННОГО КОНТРОЛЯ НА ОСНОВЕ ЛОГИЧЕСКОГО ДОПОЛНЕНИЯ ДО РАВНОВЕСНОГО КОДА „2 ИЗ 5“
- ОПТИМАЛЬНОЕ УПРАВЛЕНИЕ ПЬЕЗОАКТЮАТОРОМ ДЛЯ НАСТРОЙКИ РАДИООТРАЖАЮЩЕГО СЕТЕПОЛОТНА КОСМИЧЕСКОГО РЕФЛЕКТОРА
- АЛГОРИТМ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОЙ ОПТИМИЗАЦИИ ЭТАПА ВЫДВИЖЕНИЯ СПИЦ КРУПНОГАБАРИТНОГО ТРАНСФОРМИРУЕМОГО РЕФЛЕКТОРА
- РАЗРАБОТКА СВЕРТОЧНОГО СЛОЯ ГЛУБОКОЙ НЕЙРОННОЙ СЕТИ ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ДЕФЕКТОВ МЕТАЛЛОПРОКАТА
- МУЛЬТИПЛИКАТИВНАЯ ОБРАБОТКА ЧАСТОТНОГО СПЕКТРА ИЗЛУЧЕНИЯ ПОДВИЖНОГО ОБЪЕКТА
- МЕТОДИКА ОЦЕНИВАНИЯ ДИНАМИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ ПЬЕЗОЭЛЕМЕНТОВ
- РАДИООПТИЧЕСКИЙ ЛИНЗОВЫЙ ОТРАЖАТЕЛЬ-ИЗЛУЧАТЕЛЬ
- МЕТОДИКА ОПРЕДЕЛЕНИЯ НАДЕЖНОСТИ ДАТЧИКА ИОННОГО ТОКА С ВОСЬМЬЮ ВЫСОКОВОЛЬТНЫМИ ЩУПАМИ