Например, Бобцов

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СПОСОБЫ СНИЖЕНИЯ ФАКТОРОВ РОСТА ПОВЕРХНОСТНЫХ ДЕФЕКТОВ ПОЛИМЕРНЫХ ПЛАНАРНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ВОЛНОВОДОВ

Аннотация:

Представлены технологические подходы к снижению поверхностных дефектов полимерных планарных оптических волноводов. Экспериментально определены и устранены факторы, способствующие увеличению числа поверхностных дефектов при использовании технологии мягкой литографии. Показана эффективность применения светофильтра оригинальной конструкции.

Ключевые слова:

Статьи в номере