Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:681.7.068.4
Номер:6 (64)
Скачать PDF1203 Кбайт
Представлены технологические подходы к снижению поверхностных дефектов полимерных планарных оптических волноводов. Экспериментально определены и устранены факторы, способствующие увеличению числа поверхностных дефектов при использовании технологии мягкой литографии. Показана эффективность применения светофильтра оригинальной конструкции.