Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:3 (9)
Скачать PDF0 Кбайт
В настоящее время появилась необходимость в измерении микро- и наноструктур. С развитием технологий потребовалась высокая точность в изготовлении различных элементов приборов (например, материнских плат в компьютерах, микрочипов, эталонных мер для микроскопов и т.д.).