Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:3 (9)
Скачать PDF0 Кбайт
Исследование структуры тонких диэлектрических слоев оптическими методами
Аннотация:
Работа посвящена возможности использования метода нарушенного полного внутреннего отражения (НПВО) для анализа структуры тонких диэлектрических слоев полученных методами физического осаждения. Дополнительно структура образцов исследовалась на растровом электронном микроскопе (РЭМ). Анализ картины рассеяния и определение вида индикатрисы рассеяния позволит проводить неразрушающий контроль структуры полученных покрытий.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Методика обучения студентов университета с использованием Интернет-технологий по дисциплине "Дискретная математика"
- Виртуальный музей истории создания и развития образовательного учреждения как составляющая его информационной среды
- Организация профессионального обучения программным продуктам на основе активизации познавательной деятельности обучающихся
- Исследование индивидуальных факторов успешности студентов при обучении computer science
- Асимптотики резонансов для двумерных волноводов, соединенных малыми отверстиями при граничном условии Неймана
- Исследование нелинейных колебаний механической системы с тремя степенями свободы на вибрирующей платформе
- Расчет блока радиоэлектронной аппаратуры с естественной вентиляцией
- Сравнительный анализ воздействия излучения лазерного и лампового источников на вены
- Исследование конфокального оптоэлектронного микроскопа для измерения мер малой длины
- Исследование и анализ физических процессов в газоразрядной ксеноновой лампе на стадии расширения плазменного канала
- Оптимизация спектральных характеристик газоанализатора моноксида углерода
- Сравнительный анализ методов компьютерной обработки видеокадров ПЗС-камер
- Оптико-электронная авторефлексионная система со специальным контрольным элементом для измерения линейных смещений
- О схемах построения прожекторов с круговой оптической равносигнальной зоной
- Особенности энергетического расчета оптико-электронных измерительных систем на основе матриц ПЗС
- Исследование методов повышения точности автоколлимационной оптико-электронной системы для измерения линейных смещений
- Исследование погрешности измерения поперечных смещений распределенной автоколлимационной системой контроля деформаций при изменениях яркости источников
- Экспериментальные исследования зависимости погрешности измерения поперечных смещений от количества измерений в распределенной автоколлимационной системе контроля деформаций
- Экспресс-метод бесконтактного обнаружения патогенных бактерий на поверхности мясных продуктов
- Сравнение эффективности различных методов синтеза оптических систем
- Анализ поведения линейных характеристик цилиндрических гофрированных оболочек при однонаправленном сжатии
- Точное решение дифференциального уравнения, описывающего свободные и вынужденные колебания маятника с трением в точке подвеса
- О решении задачи синтеза магнитного поля в МР-томографе методом регуляризации с ограничениями и методом аппроксимации δ-функцией
- Аналитическое описание поведения поверхности Френеля в анизотропной среде с однонаправлено или периодически изменяющимся показателем преломления
- Движение жесткой эллипсоидальной оболочки, заполненной реальной жидкостью, около неподвижного центра тяжести
- Аналитическое описание плоской кривой, "данной свободным влечением руки"
- Решение уравнений Эйлера, описывающих движение тяжёлого твёрдого тела около неподвижной точки, в общем случае
- Аналитическое описание изгибаний сильфона с помощью абелевых функций
- Контроллеры автоматизированных систем для производства микросистемной техники
- Идентификация динамики процесса циклического изнашивания
- Измерение некруглости валов
- Отыскание параметров зубчатых передач, обеспечивающих минимальные контактные напряжения
- Микромеханические кремниевые магнитометры
- Анализ сдвижения горных пород при отработке угольных пластов с точки зрения теории катастроф
- Исследование геометрии несимметричных профилей зубчатых колёс
- Локальная экзоэлектронная эмиссия как метод диагностики материалов
- Анализ материалов для оптического волокна
- Диагностика поверхностей тонких плёнок при использовании метода эллипсометрии в производственных условиях
- Отражательная эллипсометрия в приборостроении