
Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:681.787
Номер:9 (67)
Скачать PDF1191 Кбайт
Представлен низкокогерентный интерферометрический зонд, работающий в сканирующем режиме измерений. Получены данные о рельефе поверхности при движении разработанного зонда и изменении разности хода опорного зеркала в плече интерферометра. Представлены функциональная схема оптического измерительного блока, сканирующий режим измерений, проанализирована обработка сигналов с фотоприемных устройств. Получены картина нерегулярных волновых фронтов при падении низкокогерентного излучения на негладкую поверхность, кривая интенсивности интерференционной картины при изменении рельефа поверхности вдоль оси OZ, а также результаты измерений амплитуды и огибающая интерференционного сигнала при расфокусировке.