СОЗДАНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ МНОГОСЛОЙНЫХ СТРУКТУР МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ И ИХ ЭЛЕМЕНТНЫЙ АНАЛИЗ
Аннотация:
Рассматривается процесс формирования методом магнетронного распыления многослойной структуры Al-Ni, используемой для протекания в ней реакции самораспространяющегося высокотемпературного синтеза. Предложена компоновка магнетронной распылительной системы, позволяющая использовать шесть магнетронов и ионный источник в едином технологическом цикле формирования многослойной структуры Al-Ni, что ведет к увеличению скорости ее роста. С помощью электронной растровой микроскопии исследован образец получен- ной структуры Al-Ni. Показано, что образец имеет толщину 50 мкм, толщина одного бислоя составляет 80 нм. Приведены результаты исследования полученных структур с помощью оже-спектроскопии и растровой электрон- ной микроскопии и проведен элементный анализ сформированной многослойной структуры.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- МНОГОКРИТЕРИАЛЬНАЯ ОПТИМИЗАЦИЯ СТРУКТУРЫ КЛАСТЕРА С КОНТЕЙНЕРНОЙ ВИРТУАЛИЗАЦИЕЙ
- ЛИНЕЙНАЯ СЛОЖНОСТЬ НЕДВОИЧНЫХ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТЕЙ ГОРДОНА — МИЛЛСА — ВЕЛЧА В ПРОИЗВОЛЬНЫХ КОНЕЧНЫХ ПОЛЯХ
- ФОРМИРОВАНИЕ АНСАМБЛЕЙ КВАЗИОРТОГОНАЛЬНЫХ КОДОВЫХ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТЕЙ С ВЫСОКОЙ СТРУКТУРНОЙ СКРЫТНОСТЬЮ
- СИНТЕЗ АДАПТИВНОГО НАБЛЮДАТЕЛЯ СОСТОЯНИЯ ДЛЯ КЛАССА НЕСТАЦИОНАРНЫХ БИЛИНЕЙНЫХ СИСТЕМ В УСЛОВИЯХ ЧАСТИЧНОЙ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ НЕОПРЕДЕЛЕННОСТИ
- БЫСТРОЕ ДЕЦЕНТРАЛИЗОВАННОЕ УПРАВЛЕНИЕ ДЛЯ РАВНОМЕРНОГО РАСПРЕДЕЛЕНИЯ МОБИЛЬНЫХ РОБОТОВ
- ПРИМЕНЕНИЕ ПЛАГИНА MULTI-PERSPECTIVE PROCESS EXPLORER ПРОГРАММЫ PROM 6.11 ДЛЯ АНАЛИЗА КАРДИОГРАММЫ
- СAE/CAM-АВТОМАТИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ ПОДГОТОВКИ ПРОИЗВОДСТВА
- КВАЗИОПТИМАЛЬНЫЙ АЛГОРИТМ ПЛАНИРОВАНИЯ ДВИЖЕНИЯ РОБОТОТЕХНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ ПО КРАТЧАЙШЕМУ ПУТИ СО СЛУЧАЙНОЙ ВЫБОРКОЙ
- РАЗРАБОТКА АЛГОРИТМОВ ОЧУВСТВЛЕНИЯ И УПРАВЛЕНИЯ ДЛЯ КОЛЛАБОРАТИВНЫХ МОБИЛЬНЫХ РОБОТОВ С ГИБРИДНОЙ ГОЛОНОМНОСТЬЮ