ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ СТРУКТУР НА ПОВЕРХНОСТЯХ УЗЛОВ АКСЕЛЕРОМЕТРОВ
Аннотация:
Рассматривается технология формирования тонкопленочных функциональных покрытий на плоских поверхностях прецизионных акселерометров методом магнетронного напыления на примерах нанесения алюминия при изготовлении пластины-основания чувствительного элемента микромеханического акселерометра. Представлена математическая модель формирования покрытия равномерной толщины на плоской поверхности, определены основные значимые параметры процесса напыления. Оптимизируемым параметром выбран угол ориентации подложки относительно мишени магнетрона, а критерием оптимизации служит минимальное значение среднеквадратического отклонения толщины покрытия. Эффективность предложенной модели подтверждается практическими результатами исследований характеристик полученных покрытий.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- МОДИФИЦИРОВАННЫЙ ПРЕДИКТОР СМИТА ДЛЯ НЕУСТОЙЧИВЫХ ЛИНЕЙНЫХ СИСТЕМ
- ОБНАРУЖЕНИЕ ОТКАЗОВ ДАТЧИКОВ АВТОНОМНОГО ПОДВОДНОГО АППАРАТА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МАШИННОГО ОБУЧЕНИЯ И ГЕНЕРАТОРОВ РАССОГЛАСОВАНИЯ
- ПОВЫШЕНИЕ БЕЗОПАСНОСТИ ВЫВЕДЕНИЯ КОСМИЧЕСКИХ АППАРАТОВ НА ОРБИТУ ПРИ НЕШТАТНЫХ СИТУАЦИЯХ НА БОРТУ РАКЕТЫ-НОСИТЕЛЯ
- ПРИМЕНЕНИЕ ДЕСКРИПТОРНОГО ПОДХОДА И ТРЕХМЕРНОГО ГАУССОВА РАСЩЕПЛЕНИЯ ДЛЯ ВИЗУАЛЬНОЙ ЛОКАЛИЗАЦИИ В ДИНАМИЧЕСКОМ ОКРУЖЕНИИ ВНУТРИ И ВНЕ ПОМЕЩЕНИЙ
- СИНТЕЗ МЕТОДА МНОГОВОЛНОВОЙ СПЕКТРОФОТОМЕТРИИ ДЛЯ СИСТЕМ РАННЕГО ОБНАРУЖЕНИЯ ЛЕСНЫХ ПОЖАРОВ
- ПРИМЕНЕНИЕ ЭФФЕКТА КВАЗИЗАМКНУТОГО ПРОСТРАНСТВА ПРИ ФОРМИРОВАНИИ ПРОВОДЯЩИХ ПЛЕНОК НА КЕРАМИКЕ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ
- ОПТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ СТЕКОЛ И ТЕХНОЛОГИЯ ИХ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ПРОЗРАЧНОЙ БРОНИ