Например, Бобцов

Метод динамического интерферометрического контроля топографии поверхности и приповерхностной томографифической структуры объектов и материалов

Аннотация:

Интерферометрические методы широко используются при бесконтактном контроле различных объектов. Интерференционные полосы содержат информацию об исследуемом объекте, которую требуется выделить при обработке интерферометрических сигналов с высокой точностью и помехоустойчивостью. Во многих случаях требуется обрабатывать значительные объемы информации о рельефе поверхности объекта на участках большой площади, а также о приповерхностной томографической структуре объекта, поэтому необходимо обеспечивать повышенное быстродействие интерферометрических систем.

Ключевые слова:

Статьи в номере