Химическое микроструктурирование поверхности монокристаллического кремния
Аннотация:
В настоящее время химическое микроструктурирование (ХМС) широко применяется для создания пространственных поверхностных и объемных структур в монокристаллах кремния. Так, в полупроводниковой микроэлектронике с помощью V-образных канавок формируется изоляция элементов типа VATE и «Полипланар» в полупроводниковых микросхемах.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Траекторное управление кинематическими механизмами нетривиальной конструкции
- Проблема локализации источников стохастичности в стационарном уравнении при вычислении моментов переменных состояний
- Особенности проектирования четырехквадрантных асинхронных электроприводов
- Использование последовательного компенсатора в задаче слежения неопределенным линейным объектом в условиях возмущения
- Синтез адаптивного предиктора для нахождения упреждающей оценки
- Адаптивная компенсация гармонического возмущения с неизвестными параметрами по измерениям выходной переменной объекта
- Управление неопределенной нелинейной системой типа Лурье с минимально-фазовой линейной частью
- Алгебраические проблемы параметрической инвариантности: контроль принадлежности подпространств характеристической матрицы объекта образу его матрицы управления
- Обеспечение скрытности декодирования циклических кодов средствами коммутации входных цепей декодера
- Влияние запаздывания в двоичном канале без помех на качество дистанционного цифрового управления
- Эллипсоидные оценки качества систем с интервальными параметрами, конструируемые на харитоновской выборке из массива угловых реализаций
- Вырождение сложных дискретных динамических систем: проблема контроля с помощью частотных чисел обусловленности
- Следящий привод на нетрадиционных исполнительных устройствах
- Коррекция преобразовательной характеристики датчика в среде динамического наблюдающего устройства
- Стабилизация колебаний перевернутого маятника
- Построение моделей общего тракта в локационных системах со сканированием
- Моделирование продольного канала летательного аппарата для типовых режимов полета
- Исследование точностных характеристик систем автоматического управления посадки самолета
- Анализ подходов к моделированию пилотажно-навигационных комплексов летательных аппаратов
- Опыт проведения обучения информационным системам по программе «Дополнительное профессиональное образование в области информационных технологий»
- Использование ORACLE WAREHOUSE BUILDER для организации хранилищ данных
- Использование BI BEANS КОМПОНЕНТ для построения аналитических приложений
- Информационная поддержка образовательных учреждений Санкт-Петербурга
- Основы построения системы информационного обеспечения внешнеэкономической деятельности Санкт-Петербурга
- Механизмы взаимодействия ИСУ с другими программными комплексами, используемыми в университете
- Управление ресурсами, предоставляемыми пользователям ИСУ
- Интернет-портал как единая точка входа в системы вуза
- Информационно-аналитический комплекс региональной системы образования
- Повышение эффективности сжатия изображений на основе вейвлет-преобразования
- Методы оценки загрузки вычислительных узлов распределенной вычислительной системы
- Методы распознавания образов в специализированном семантическом анализе
- Управление производительностью серверов на платформе Sun/Solaris
- Подход к классификации и жизненный цикл атак на компьютерные системы
- Исследование эффективности работы протоколов маршрутизации
- Роль вычислительных моделей и механизмов в проектировании встроенных систем
- Описание ресурсов при высокоуровневом проектировании управляющих систем
- Унификация генерации кода для виртуальных машин встроенных систем
- Моделирование и верификация операционных сред информационно-управляющих систем
- Поиск программных компонент с целью их повторного использования
- Обзор и классификация инструментальных систем для микроконтроллерных стендов SDK 1.1 и SDK 3.1
- Оптимизация алгоритма управления оптическим лучом методом имитационного моделирования
- Численное моделирование оптического канала связи по трассе «атмосфера – граница раздела океан-атмосфера – толща океана»
- Моделирование изменчивости концентраций оптически активных примесей в океане
- Моделирование характеристик направленности гидрооптического приемника акустических колебаний
- Модель оптической трассы для регистраторов гидроакустических волн с учетом турбулентности и взвеси
- Имитационная модель стабилизатора изображения
- Кубические покрытия логических условий вычислительных процессов и программ
- Современные задачи многомерного анализа в электроэнцефалографии
- Многофункциональные индикаторы на плоских жидкокристаллических панелях: наукоемкие аппаратно-программные решения
- Лингвистические структуры в задачах отображения пилотажно- навигационной информации на борту современного пилотируемого летательного аппарата
- Критерий выбора структуры и содержания стенда для испытаний навигационно-пилотажного комплекса летательного аппарата
- Микроструктурирование поверхности кремниевых пластин с помощью лазера
- Системы автоматизации конструкторско-технологической подготовки производства
- Практическое использование каналов передачи данных (geomedia pipe) для задач анализа и управления данными объектной среде intergraph geomedia
- Использование программ численного решения задач интерференции поляризованного излучения в учебном процессе
- Изучение влияния размера источника излучения на параметры массопереноса в жидких средах
- Вариант базы данных для локальной сети учебной лаборатории САПР вуза
- Документирование жизненного цикла информационных систем
- Создание информационных хранилищ данных
- Нейросетевые алгоритмы в задачах автоматизации проектирования
- К вопросу создания комплексной АСУ гальваническим производством
- Информационные технологии в условиях виртуального предприятия
- Выращивание, спектроскопия и эффективная перестраиваемая генерация кристаллов KYW:Yb:Tm вблизи 1,9 мкм
- Технологические линии поверхностного монтажа в мелкосерийном многономенклатурном производстве
- Разработка автоматизированной технологии производства оптического волокна специального назначения
- Интегрированная система автоматизированного производства оптических материалов
- Методы разработки автоматизированной системы информационной поддержки решений
- Моделирование как элемент технологии получения оптических и электронных материалов
- Метод динамического интерферометрического контроля топографии поверхности и приповерхностной томографифической структуры объектов и материалов
- Метод бесконтактного контроля локальных геометрических характеристик микроструктуры поверхности объектов с использованием интерферометров малой когерентности
- Мониторинг защищенности хостов в Интернет