Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:3 (14)
Скачать PDF0 Кбайт
В настоящее время химическое микроструктурирование (ХМС) широко применяется для создания пространственных поверхностных и объемных структур в монокристаллах кремния. Так, в полупроводниковой микроэлектронике с помощью V-образных канавок формируется изоляция элементов типа VATE и «Полипланар» в полупроводниковых микросхемах.