Например, Бобцов

Исследование механических и ионных нарушений элементной базы микроэлектроники и микросенсорной техники с помощью эллипсометрии

Аннотация:

В настоящее время в развитии техники наблюдается тенденция использования функциональных объектов малых размеров. Примером может служить электронная техника, в которой микроминиатюризация приборов уже сейчас требует применения элементов, размеры которых менее нескольких микрон.

Ключевые слова:

Статьи в номере