Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:5 (21)
Скачать PDF0 Кбайт
В настоящее время в развитии техники наблюдается тенденция использования функциональных объектов малых размеров. Примером может служить электронная техника, в которой микроминиатюризация приборов уже сейчас требует применения элементов, размеры которых менее нескольких микрон.