Например, Бобцов

ОЦЕНКА ПОГРЕШНОСТИ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОГО ПОЛЯ

Аннотация:

  Использование интерференционных измерителей микроперемещений позволяет достичь высокой разре- шающей способности – до 0,01 длины волны используемого излучения. Целью работы является оценка погрешности определения параметров интерференционной картины. В работе рассмотрен интерферен- ционный измеритель микроперемещений, построенный по схеме интерферометра Майкельсона, излуче- ние которого имеет сферический волновой фронт. Получены аналитические зависимости, позволяющие по известному уровню шумов оценить величину погрешностей вычисления параметров интерференци- онной картины. Проведенное исследование позволяет выбрать разрешающую способность фотоэлек- тронной приемной системы измерителя для обеспечения заданной погрешности измерений величины микроперемещений.

Ключевые слова:

Статьи в номере