Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:11 (34)
Скачать PDF0 Кбайт
Формирование слоев с переменной толщиной при двойном вращении
Аннотация:
В работе рассмотрена математическая модель, описывающая формирование толщины слоев при осажде- нии из паровой фазы, получаемой методом электронно-лучевого испарения. Слои создаются при испаре- нии из маленького поверхностного испарителя на подложку, совершающую планетарное вращение. Ме- жду испарителем и подложками на одной оси с ними размещены круглые диафрагмы, совершающие до- полнительное вращение. Приведены результаты расчетов распределения толщины слоев по поверхности элемента, демонстрирующие зависимость характера распределения от параметров, характеризующих относительное расположение элемента и испарителя.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- Временная компрессия широких пучков фемтосекундной длительности при попутном ВКР
- Нелинейное параксиальное отражение от диэлектриков импульсов из малого числа колебаний светового поля
- Самофокусировка света в филаменты со сверхширокими временными и пространственными спектрами
- Управление параметрами терагерцовой последовательности световых импульсов
- Использование полого волновода для увеличения эффективности взаимодействия фемтосекундных пробного импульса и импульса накачки в исследуемой газовой среде
- Полимерный регистрирующий материал пленочного типа для голографии
- Сверхуширение спектра импульсов из малого числа колебаний светового поля в прозрачных средах с аномальной групповой дисперсией
- Получение изображений с помощью широкополосного терагерцового излучения
- Механизмы влияния дислокаций на электрические и оптические свойства германия
- Особенности травления лазерного кристалла LiYF4 в растворах H2SO4
- Cпектральные свойства высококонцентрированных метафосфатных иттербиевых стекол, активированных ионами эрбия
- Влияние мощности накачки на спектрально-люминесцентные характеристики высококонцентрированных иттербий-эрбиевых стекол
- Влияние ОН-групп на спектрально-люминесцентные свойства высококонцентрированных иттербий-эрбиевых стекол
- Измерение малых поглощений в кристаллах CaF2
- Визуализация адаптивных центров роста, формирующих коронку зуба человека
- ИК-спектроскопическое исследование колебательных состояний в низкоразмерном нанокристаллическом углероде с изменяющейся структурой
- Экспериментальное исследование дисперсии скорости распространения ультразвуковой волны в образцах низкоразмерного конденсированного углерода
- Анализ влияния качества оптического контакта на ИК спектры НПВО сильно поглощающих объектов методами компьютерного моделирования
- Исследование колебательных состояний в конденсированных средах на основе углерода. Экспериментальный и модельный подходы
- Компьютерная обработка интерферограмм методом вейвлет-преобразования
- Восстановление информации об объекте в цифровой голографии на основе уравнения переноса
- Компьютерное восстановление изображения методом цифровой голографии с источником освещения малой когерентности
- Повышение производительности обработки сигналов с узкополосным спектром при использовании метода субдискретизации
- Рекуррентный алгоритм обработки данных в интерферометрии управляемого дискретного фазового сдвига
- Исследование влияния погрешностей сборки и юстировки оптических прицелов на результат стрельбы
- Возникновение муаровой картины при дифракции на «зеркальной» апертуре и возможности ее применения для контроля геометрических параметров объектов
- Оценка результатов косвенных измерений фокусных расстояний линз
- Проектирование цифровых микроскопов
- Оценка клиновидности развертки отражательной призмы
- Алгоритмическая компенсация систематических погрешностей измерительных цепей
- Моделирование механизмов компенсации погрешностей параллелограммного механизма
- Реализация базисного метода контроля фокусировки длиннофокусных объективов
- Исследование влияния фоновой засветки на погрешность позиционирования в оптико-электронной системе управления с круговой оптической равносигнальной зоной
- Влияние временного формирования излучения на условия обнаружения при определении наклонной дальности
- Выбор увеличения телевизионного канала микроскопа
- Габаритно-энергетический расчет в оптико- электронной системе с круговой оптической равносигнальной зоной
- Исследование погрешности контроля дистанции в симметричном внутрибазовом канале двухкоординатной оптико-электронной системы контроля смещений
- Методы построения адаптивной распределенной оптико-электронной системы неразрушающего контроля деформации крупногабаритных сооружений
- Система точного поддержания температуры при оптических измерениях в жидких средах
- Синтез широкополосных просветляющих покрытий
- Разработка технологии изготовления интерференционных диэлектрических зеркал с высоким коэффициентом отражения адаптивной оптики
- Разработка информационной модели многоконфигурационной оптической системы на этапе концептуального проектирования
- Синтез ахроматических объективов микроскопов
- Аберрационная структура пятна рассеяния в изображении точки при децентрировке элементов оптической системы
- Аберрационный анализ двухкомпонентной схемы оптической системы объектива
- Понятие тонкого компонента в системе отражающих поверхностей
- Положение оптически сопряженных точек в оптических системах переменного увеличения
- Анализ условий поступления по договору «Школа – вуз»
- Варианты композиции оптических систем с апланатической коррекцией аберраций
- Универсальная модель для автоматизированного параметрического синтеза центрированных оптических систем в гауссовой области