Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:
Номер:7 (30)
Скачать PDF0 Кбайт
В работе рассмотрен вопрос анализа концентраторов механических напряжений и микродеформаций элементной базы микро- и наноэлектроники, в свете современных представлений о возникновения концен- траторов напряжений в твердом теле.