Например, Бобцов

Микромеханические резонансные датчики

Аннотация:

  В работе проводится обзор состояния микромеханических резонансных датчиков. Рассматриваются типовые колебательные схемы, приводятся примеры датчиков – микромагнитный датчик, микрогироскоп и микроакселерометры.

Ключевые слова:

Статьи в номере