Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:621.315.592.621.382.002
Номер:5 (69)
Скачать PDF0 Кбайт
Приводятся результаты исследования влияния лазерного излучения на структурные свойства системы кремний-термический окисел с использованием методов просвечивающей электронной микроскопии и локальной катодолюминесценции.