Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:539.232; 542.06; 546-1
Номер:3 (85)
Методом сканирующей зондовой микроскопии исследованы поверхности оксидных пленок алюминия. Изучены электрические параметры процесса анодирования различных образцов алюминия для получения структурированного окисла. Произведено исследование топографии поверхностной структуры оксидных пленок на сканирующем зондовом микроскопе NTegra Aura.