Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:536:621.37
Номер:5 (69)
Скачать PDF0 Кбайт
Рассмотрены вопросы влияния параметров микроструктуры пленок хрома на результаты локального термохимического окисления под действием лазерного излучения. Представлены результаты экспериментальных исследований микроструктуры и элементного состава пленок толщиной от 50 до 140 нм. Приведены результаты исследования лазерной записи по пленкам хрома с различным размером кристаллита. Проведено сравнение результатов численного моделирования и натурных экспериментов.