Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:62.83
Номер:11 (52)
Скачать PDF356 Кбайт
Экспериментально определены характеристики пьезоприводов с тонкопленочными низковольтными пьезоактюаторами. Проанализированы потенциально достижимые значения технических характеристик описываемых пьезоприводов для микроперемещений управляемых модулей прецизионных приборных уст- ройств.