Например, Бобцов

ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ПЬЕЗОПРИВОДОВ НОВОГО ПОКОЛЕНИЯ

Аннотация:

Экспериментально определены характеристики пьезоприводов с тонкопленочными низковольтными пьезоактюаторами. Проанализированы потенциально достижимые значения технических характеристик описываемых пьезоприводов для микроперемещений управляемых модулей прецизионных приборных уст- ройств.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере