Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:547.97:535.8; 541.147
Номер:3 (53)
Скачать PDF387 Кбайт
ПРИМЕНЕНИЕ НАНОИМПРИНТ-ЛИТОГРАФИИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ НАНО- И МИКРОЭЛЕМЕНТОВ ФОТОНИКИ
Аннотация:
Исследованы способы получения полимерных микрооптических элементов с помощью контактного копирования с использованием гибкого штампа. Экспе- риментально оценено влияние усадок ультрафиолетовой отверждаемой композиции на точность копии. На примере копирования дифракционной решетки 1800 лин/мм экспериментально подтверждена возможность копирования наноразмерных структур на существующем оборудовании.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- БОЛЬШОЙ ТЕЛЕСКОП АЗИМУТАЛЬНЫЙ
- ОПТИКО-ЦИФРОВЫЕ СИСТЕМЫ И КОМПЛЕКСЫ КОСМИЧЕСКОГО НАЗНАЧЕНИЯ
- СОВРЕМЕННЫЕ ПРОГРАММНЫЕ КОМПЛЕКСЫ КОМПЬЮТЕРНОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ E-SCIENCE
- ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДА ОБРАБОТКИ СИГНАЛОВ В СИСТЕМАХ ОПТИЧЕСКОЙ КОГЕРЕНТНОЙ ТОМОГРАФИИ С ПОВЫШЕННЫМ БЫСТРОДЕЙСТВИЕМ
- КИНЕМАТИЧЕСКИЕ И ДИНАМИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ ДВИЖЕНИЯ АВТОМОБИЛЯ
- ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ ПРОЦЕССА ПСЕВДООЖИЖЕНИЯ В ЭНЕРГЕТИЧЕСКИХ УСТАНОВКАХ