Например, Бобцов

НАНЕСЕНИЕ ЗАЩИТНОГО ПРОСВЕТЛЯЮЩЕГО ПОКРЫТИЯ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВУЮ ГЕТЕРОСТРУКТУРУ УФ-ДИАПАЗОНА

Аннотация:

Исследована возможность нанесения защитного просветляющего покрытия на полупроводниковую поверхность гетероструктуры УФ-диапазона. Показано, что специально приготовленный раствор на основе стандартной эпоксидной композиции ЭК-54 позволяет получать слои без существенного изменения объема (менее 1 %), а также снизить потери излучения, генерируемого полупроводниковой структурой, на 11 %.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере