Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:535.317.2
Номер:1 (54)
Скачать PDF897 Кбайт
ПРИМЕНЕНИЕ КОМПЬЮТЕРНОЙ ИЗОФОТОМЕТРИИ ПРИ КОНТРОЛЕ ОБЪЕКТИВА ДЛЯ НАНОЛИТОГРАФА
Аннотация:
Рассмотрены современные предпосылки развития микроэлектроники: углубление в вакуумно-ультрафиолетовый рабочий диапазон, создание и применение зеркальных объективов предельной точности, построенных по схеме Шварц- шильда, когда требования к точности измерения ошибок строже, чем λ/100 для λ =0,633 мкм. На стадии финишной доводки оптических поверхностей объекти- ва, в дополнение к дифракционной интерферометрии, необходима оценка каче- ства изображения, сформированного объективом, с использованием прямого метода изофотометрии структуры изображения точки, чем преодолевается не- достаток чувствительности интерференционного контроля.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- АРХИТЕКТУРА СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ЗНАНИЯМИ НА ОСНОВЕ WIKI-ТЕХНОЛОГИИ И ИНТЕГРИРОВАННЫХ ОНТОЛОГИЧЕСКИХ МОДЕЛЕЙ
- МЕТОД 3D-КОМПРЕССИИ ДАННЫХ РЕНТГЕНОВСКОЙ КОМПЬЮТЕРНОЙ ТОМОГРАФИИ
- ВЛИЯНИЕ ИНДИКАТРИСЫ РАССЕЯНИЯ МОРСКОЙ ВОДЫ НА ХАРАКТЕРИСТИКИ АВИАЦИОННОГО ОКЕАНОЛОГИЧЕСКОГО ЛИДАРА
- ГАУССОВЫ МАРКОВСКИЕ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТИ
- ТЕПЛОВОЙ ДРЕЙФ ВОЛОКОННОГО ОПТИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА
- ПРЯМАЯ И ОБРАТНАЯ ЗАДАЧИ ПАТТЕРНИЗАЦИИ СИГНАЛОВ И ИЗОБРАЖЕНИЙ
- УСТАЛОСТНОЕ РАЗРУШЕНИЕ МИНИАТЮРНОГО ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СХВАТА
- МЕТОДИКИ АНАЛИЗА И СИНТЕЗА ЭНЕРГОПОДСИСТЕМ ПРИБОРНЫХ ЭЛЕКТРОПРИВОДОВ
- ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ПРИНЦИПА ПОСТОЯННОЙ ЦВЕТОВОЙ ЯРКОСТИ ДЛЯ ПЕРЕДАЧИ ВИДЕОИНФОРМАЦИИ
- ОПРЕДЕЛЕНИЕ ТЯГОВОГО УСИЛИЯ НИЗКОЧАСТОТНОГО ЭЛЕКТРОДИНАМИЧЕСКОГО ВИБРОВОЗБУДИТЕЛЯ
- АЛГОРИТМИЧЕСКАЯ КОРРЕКЦИЯ ПОГРЕШНОСТЕЙ ПОРТАТИВНОГО СПЕКТРОФОТОМЕТРА
- МОДЕРНИЗАЦИЯ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИХ ФОТОЭЛЕКТРОННЫХ СПЕКТРОМЕТРОВ ЭС-2401 И ЭС-3201
- КИНЕТИКА ИСПАРЕНИЯ КАПЕЛЬ В СИСТЕМАХ ОХЛАЖДЕНИЯ ТЕПЛОНАГРУЖЕННЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ПРИБОРОВ
- ЛАЗЕРНАЯ ТЕРМОХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ МИКРОСТРУКТУРИРОВАНИЯ ПЛЕНОК ХРОМА