Например, Бобцов

ЛАЗЕРНОЕ ТЕКСТУРИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ ДЛЯ СОЗДАНИЯ СОЛНЕЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ

Аннотация:

Исследован процесс возникновения лазерно-индуцированной столбчатой струк- туры на поверхности c-Si и mc-Si под действием наносекундных импульсов Nd:YAG-лазера (532 нм) в атмосфере диоксида углерода и в вакууме. Получены образцы текстурированных пластин mc-Si размером 20×20 мм c типичной столб- чатой структурой (аспектное отношение ≥ 3) и полным отражением менее 3 %.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере