Например, Бобцов

ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ РЕЛЕ НА БАЗЕ МЭМС-ТЕХНОЛОГИИ

Аннотация:

Рассматриваются принципы разработки слаботочных микрореле и микропере- ключателей для аппаратуры космического применения с использованием тех- нологии микроэлектромеханических систем.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере