Журнал
ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ «ПРИБОРОСТРОЕНИЕ»
УДК:537.311.322
Номер:5 (55)
Скачать PDF559 Кбайт
АВТОМАТИЗИРОВАННЫЙ БЫСТРОДЕЙСТВУЮЩИЙ ЛАЗЕРНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПРОЗРАЧНЫХ ПЛЕНОК
Аннотация:
Изложены принципы интерферометрических измерений толщины прозрачных полупроводниковых и диэлектрических слоев. Приведено описание модернизированного интерферометра: его оптико-механический тракт, электронная схема и программное обеспечение. Представлены математическое обоснование принципов измерения и электрическая схема регистрации сигнала; описана программа обработки данных на ПК.
Ключевые слова:
Постоянный URL
Статьи в номере
- РАСПОЗНАВАНИЕ НЕПРЕРЫВНЫХ КОМПЛЕКСНОЗНАЧНЫХ КОНТУРОВ ИЗОБРАЖЕНИЙ
- КОММУТАЦИЯ СТРУКТУРЫ ПРОСТРАНСТВА ЛИНЕЙНЫХ УСТРОЙСТВ РЕКУРРЕНТНОГО ПРЕОБРАЗОВАНИЯ КОДОВ
- ТЕНЗОРНАЯ МЕТОДОЛОГИЯ В ИНФОРМАЦИОННЫХ КОММУНИКАЦИЯХ
- ПОВОРОТНЫЙ ГИДРОДИНАМИЧЕСКИЙ СТЕНД И МЕТОДИКА ОЦЕНКИ ЕГО ГАБАРИТНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК
- ИСПОЛЬЗОВАНИЕ МЕТОДА ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ФУНКЦИИ ПЕРЕДАЧИ ДЛЯ АНАЛИЗА ДИАГНОСТИЧЕСКОЙ МОДЕЛИ ГРЕБНОЙ ЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ УСТАНОВКИ
- ОЦЕНКА ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ АЛГОРИТМА ВТОРИЧНОЙ ОБРАБОТКИ НАВИГАЦИОННЫХ ИЗМЕРЕНИЙ К ВОЗМУЩЕНИЯМ ПАРАМЕТРОВ МОДЕЛИ НАБЛЮДЕНИЯ
- О ВЛИЯНИИ НЕЛИНЕЙНЫХ ФАКТОРОВ НА ДИНАМИКУ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО ГИРОСКОПА С ДВУХМАССОВЫМ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫМ ЭЛЕМЕНТОМ
- СРАВНИТЕЛЬНЫЙ АНАЛИЗ МЕТОДОВ ПОВЕРХНОСТНОГО УПРОЧНЕНИЯ ДЕТАЛЕЙ КИНОАППАРАТУРЫ
- ИСПОЛЬЗОВАНИЕ УСОВЕРШЕНСТВОВАННОГО ПРИБОРА НОЧНОГО ВИДЕНИЯ ДЛЯ ОБНАРУЖЕНИЯ НЕНАБЛЮДАЕМЫХ ОБЪЕКТОВ
- ТЕНДЕНЦИИ СОВЕРШЕНСТВОВАНИЯ ЭЛЕМЕНТНОЙ БАЗЫ ИНФРАКРАСНЫХ СИСТЕМ 3-ГО ПОКОЛЕНИЯ
- АЛГОРИТМ РАСЧЕТА ЗЕЙДЕЛЕВЫХ АБЕРРАЦИЙ ДЛЯ ОПТИЧЕСКОЙ СРЕДЫ С РАСПРЕДЕЛЕННЫМ ПОКАЗАТЕЛЕМ ПРЕЛОМЛЕНИЯ
- ОСОБЕННОСТИ МНОГОЧАСТОТНОЙ ГЕНЕРАЦИИ ИЗЛУЧЕНИЯ ЭРБИЕВЫХ ЛАЗЕРОВ
- ОЦЕНКА КОЭФФИЦИЕНТА ПРОПУСКАНИЯ АТМОСФЕРЫ НА ОСНОВЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ДАННЫХ