Например, Бобцов

ФОРМИРОВАНИЕ ОДИНОЧНЫХ НАНОВИСКЕРОВ НА ВЕРШИНАХ ЗОНДОВ СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ

Аннотация:

  В настоящее время широко распространены такие методы роста вискеров, как рост в установках молекулярно-пучковой эпитаксии, рост из газовой фазы с использованием металлорганических соединений, выращивание вискеров методами электролиза, электропереноса, метод лазерной абляции и т.д. В данной работе предложено расширение метода неконтролируемого самоорганизованного роста ансамбля вискеров под действием электронного пучка. Предлагаемый метод предполагает контролирование геометрии роста и свойств вискеров. Данную технологию роста одиночных вискеров можно применять в атомно- силовой микроскопии – создание суперзондов для исследования структур с развитым рельефом (глубокие каналы и впадины), для формирования острия при создании катодов и нанопинцетов.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере