Например, Бобцов

ЗОНД ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕЙ МИКРОСКОПИИ ТОКОВ ИОННОЙ ПРОВОДИМОСТИ

Аннотация:

  Создан пьезорезонансный датчик с микрозондом на основе стеклянной пипетки для сканирующей микроскопии то- ков ионной проводимости. Измерена резонансная частота и добротность датчика в воздушной и жидкой средах. Для улучшения латерального разрешения микрозонда на торце пипетки с помощью фокусированного ионного пучка сформирован нановыступ. С использованием тестовой решетки продемонстрировано пространственное разрешение микрозонда с нановыступом. Сделан вывод о возможности использования микрозонда в жидкой среде с одновре- менной работой в полуконтактной силовой моде и в моде измерения ионных токов.

Читать текст статьи

Ключевые слова:

Статьи в номере