Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:537.533.35+537.534.35
Номер:4 (68)
Создан пьезорезонансный датчик с микрозондом на основе стеклянной пипетки для сканирующей микроскопии то- ков ионной проводимости. Измерена резонансная частота и добротность датчика в воздушной и жидкой средах. Для улучшения латерального разрешения микрозонда на торце пипетки с помощью фокусированного ионного пучка сформирован нановыступ. С использованием тестовой решетки продемонстрировано пространственное разрешение микрозонда с нановыступом. Сделан вывод о возможности использования микрозонда в жидкой среде с одновре- менной работой в полуконтактной силовой моде и в моде измерения ионных токов.