Журнал
Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики
УДК:53.084.2
Номер:5 (63)
Предлагается простая и недорогая технология создания проводящих структур с пониженной размерно- стью на основе применения метода динамической силовой литографии (ДСЛ) к системе «металл – полимер». Приводятся результаты локальной ДСЛ-модификации поверхности поликарбоната и поликарбоната, покрытого алюминиевой пленкой, с использованием вольфрамового нанозондов с радиусом порядка 100 нм. Результаты модификации анализируются с помощью сканирующего зондового и растрового электронного микроскопов.